来源: 山西省科学技术厅 发布日期: 2012-02-07 15:42:47

e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器研究

项目负责人:刘俊    承担单位:中北大学

本项目主要作了以下工作:第一,优化设计FET 嵌入式 GaAs 基微加速度计,测试结果表明该结构的量程可以达到 40g。通过对 8g9g 的动态加载值进行细化,可以得出微结构能分辨的加速度的变化量为 0.05g;第二,由于GaAs材料比较脆,在以后器件的应用中可能会受到某种限制,因此项目组探索研究了基于Si基的GaN器件,目前主要完成了材料的生长和初步测试;第三,探索研究肖特基二极管(SBD),Au掺杂的Al-SiSBD,其应力灵敏系数为-10-10Pa-1;第四,设计基于e指数半导体器件嵌入式与集成微光栅结合的悬臂梁式和桥式表面应力生化传感器。该项目获2007年国家自然科学基金重点项目资助。

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